Tyhjiöpumppukoneiden valinta

⑴ Onko alipainepumpun käytön aikana synnyttämä tärinä vaikutusta prosessiin ja ympäristöön. Jos prosessi ei salli sitä, on valittava tärinätön pumppu tai ryhdyttävä tärinänvaimennustoimenpiteisiin.
⑵ Ymmärrä pumpattavan kaasun koostumus, sisältääkö se kondensoituvaa höyryä, onko siinä hiukkaspölyä, onko se syövyttävää jne. Kun valitset tyhjiöpumppua, sinun on tiedettävä kaasun koostumus ja valittava vastaava pumppu kaasulle pumpata. Jos kaasu sisältää höyryä, hiukkasia ja syövyttäviä kaasuja, kannattaa harkita lisälaitteiden, kuten lauhduttimien, pölynkeräinten jne., asentamista pumpun ilmanottoputkeen.
⑶Tyhjiöpumpun tulee pystyä poistamaan kaikki tyhjiölaitteiston prosessin aikana syntyvä kaasu työpaineensa alaisena.
⑷Yhdistä tyhjiöpumppu oikein. Koska tyhjiöpumpuilla on selektiiviset pumppausominaisuudet, joskus yksi pumpputyyppi ei voi täyttää pumppausvaatimuksia, ja useita pumppuja on yhdistettävä täydentämään toisiaan pumppausvaatimusten täyttämiseksi. Esimerkiksi titaanisublimaatiopumpulla on korkea vedyn pumppausnopeus, mutta se ei pysty pumppaamaan heliumia, kun taas kolmipuolisella sputteroivalla ionipumpulla (tai diodiasymmetrisellä katodilla sputteroivalla ionipumpulla) on tietty pumppausnopeus argonille. Yhdessä imulaite saa paremman alipaineasteen. Lisäksi jotkin tyhjiöpumput eivät voi toimia ilmakehän paineessa ja vaativat esityhjiön; Joidenkin tyhjiöpumppujen ulostulopaineet ovat ilmakehän painetta pienemmät ja vaativat vastapumpun, joten pumput on yhdistettävä.
⑸ Vaatimukset öljyn saastumiselle tyhjiölaitteistoissa. Jos laitteet vaativat ehdottomasti öljytöntä, kannattaa valita erilaisia ​​öljyttömiä pumppuja, kuten: vesirengaspumput, molekyyliseulaadsorptiopumput, sputterointi-ionipumput, kryogeeniset pumput jne. Jos vaatimukset eivät ole tiukat, voit valita on öljypumppu ja lisää öljyn saastumista ehkäiseviä toimenpiteitä, kuten kylmäloukkujen, välilevyjen, öljyloukkujen jne. lisääminen puhtaan tyhjiön saavuttamiseksi.
⑹ Valitse tyhjiöpumpun työpiste oikein. Jokaisella pumpputyypillä on tietty käyttöpainealue. Esimerkiksi 2BV-sarjan vesirengastyhjiöpumpun työpainealue on 760 mmHg ~ 25 mmHg (absoluuttinen paine). Näin laajalla painealueella pumpun pumppausnopeus muuttuu paineen mukaan (katso tarkemmat muutokset pumpun suorituskykykäyrästä), sen vakaa työpainealue on 760-60 mmHg. Siksi pumpun työpiste on valittava tällä alueella, eikä sen saa antaa toimia alle 25-30 mmHg:n paineessa pitkään.
⑺Miten tyhjiöpumpusta poistuva öljyhöyry vaikuttaa ympäristöön? Jos ympäristö ei salli saastumista, voit valita öljyttömän tyhjiöpumpun tai tyhjentää öljyhöyryt ulos.
⑻ Tyhjiöpumpun työpaineen tulee täyttää tyhjiölaitteiston äärimmäiset tyhjiö- ja työpainevaatimukset. Esimerkiksi: tietty tyhjiökuivausprosessi vaatii 10 mmHg:n työtyhjiöasteen. Valitun tyhjiöpumpun äärimmäisen alipaineasteen tulee olla vähintään 2 mmHg, mieluiten 1 mmHg. Yleensä pumpun äärimmäinen tyhjiöaste valitaan puoleen tai yhteen suuruusluokkaan korkeammaksi kuin tyhjiölaitteiston työtyhjiöaste.
⑼Tyhjiöpumppujen hinta, käyttö- ja ylläpitokustannukset.
Mekaaninen asennus
⑴Tyhjiöpumppu tulee asentaa paikkaan, jossa on vakaa maa, ja sen ympärille tulee jättää riittävästi tilaa tarkastuksen, huollon ja huollon helpottamiseksi.
⑵ Perustus tulee pitää vaakasuorassa tyhjiöpumpun pohjan alla. On suositeltavaa pehmustaa alustan neljä kulmaa iskuja vaimentavalla kumilla tai asentaa se pulteilla varmistaaksesi tyhjiöpumpun sujuvan toiminnan ja alhaisen tärinän.
⑶Tyhjiöpumpun ja järjestelmän välinen liitäntäputki tulee tiivistää luotettavasti. Pienissä tyhjiöpumpuissa tiivisteiden liittämiseen voidaan käyttää metalliputkia ja öljynkestävää kumia. Pienten tyhjiöpumppujen liittämiseen voidaan käyttää alipaineletkuja. Putken halkaisija ei saa olla pienempi kuin tyhjiöpumpun imuhalkaisija, ja putken on oltava lyhyt. Ja vähemmän mutkia. (Hitsattaessa putkia, putkilinjassa oleva hitsauskuona on poistettava, ja hitsauskuonan pääsy tyhjiöpumpun onteloon on ehdottomasti kielletty.)
⑷Yhdysputkeen käyttäjä voi asentaa venttiilin ja alipainemittarin tyhjiöpumpun ilman sisääntulon yläpuolelle tarkistaakseen tyhjiöpumpun lopullisen paineen milloin tahansa.
⑸ Kytke virtalähde moottorin tyyppikilven mukaisesti, liitä maadoitusjohto ja asenna sulakkeet ja lämpöreleet, joilla on asianmukaiset tiedot.
⑹ Kun tyhjiöpumppu käynnistetään koekäyttöä varten, moottorin hihna on irrotettava ja tyhjiöpumppua on käännettävä määrättyyn suuntaan ennen kuin se voidaan ottaa käyttöön, jotta tyhjiöpumppu ei käännä polttoaineen ruiskutusta. (Käänny suojakannen osoittamaan suuntaan)
⑺ Jäähdytysvedellä varustetuissa tyhjiöpumpuissa jäähdytysvesi on liitettävä määräysten mukaisesti.
⑻Jos tyhjiöpumpun porttiin on asennettu solenoidiventtiili, venttiilin ja tyhjiöpumpun tulee toimia samanaikaisesti.
⑼ Kun tyhjiöpumpusta poistuva kaasu vaikuttaa työympäristöön, poistoputkeen voidaan asentaa poistoputki tai öljysumusuodatin.